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GALVÃO, N. K. A. M.; GODOY JUNIOR, A.; PEREIRA, A. L. J.; MARTINS, G. V.; PESSOA, R. S.; MACIEL, H. S.; FRAGA, M. A. Effect of SF6 Plasma Etching on the Optical, Morphological and Structural Properties of SiC Films. Silicon, v. 15, p. 7745-7754, 2023. DOI: <10.1007/s12633-023-02618-w>. Disponível em: <http://doi.org/10.1007/s12633-023-02618-w>.
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... como proposto por Galvão et al. (2023).
... pode ser encontrada na literatura (GALVÃO et al., 2023).